IBM的SOI工艺中一般用哪种SOI衬底，埋氧和顶层硅厚度 …

February 4, 2026

IBM的SOI技术已经发展了很多代，不同的工艺节点和应用场景会使用不同类型的SOI衬底。这里主要介绍IBM在常规SOI（Bulk SOI）和FD-SOI（Fully Depleted SOI）两种工艺下的典型SOI衬底选择以及埋氧层和顶层硅的厚度范围。

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