图1是一个SOI光栅耦合器截面结构，主要包括： 1. 光栅耦合器包含硅波导，上包层（SiO2、空气），下包层（BOX氧化硅），衬底（Si），平板波导的有效折射率为neff； 2. 光栅周期Λ； 3. W是光栅齿（凸起部分波导）的宽度，这里设针对均匀光栅；
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图1是一个SOI光栅耦合器截面结构，主要包括： 1. 光栅耦合器包含硅波导，上包层（SiO2、空气），下包层（BOX氧化硅），衬底（Si），平板波导的有效折射率为neff； 2. 光栅周期Λ； 3. W是光栅齿（凸起部分波导）的宽度，这里设针对均匀光栅；
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